这个你见过吗?独家详解液晶面板制造
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● 前段Array制程:薄膜/黄光/蚀刻/剥膜(二)
我们以一个像素单位为例,如上图,这个像素中,浅色部分未曝光,而深色的是曝光部分。
接着,用显影剂将曝光部分的光刻胶清洗掉,这样就只剩下未曝光的光刻胶部分,然后用去离子水将溶解的光刻胶冲走。
显影之后需要加热烘烤,让未曝光的光刻胶更加坚固的依附在ITO玻璃上
然后用适当的酸刻液将无光刻胶覆盖的ITO膜的蚀刻掉,只保留光刻胶下方的ITO膜。ITO玻璃为(In2O3 与SnO2)的导电玻璃,未被光刻胶覆盖的ITO膜易与酸发生反应,而被光刻胶覆盖的ITO膜可以保留下来,得到相应的拉线电极。
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