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寻DIY最高境界 看CPU还能耍什么花样?

  CPU制造:第四阶段图文直播:

  溶解光刻胶光刻过程中曝光在紫外线下的光刻胶被溶解掉,清除后留下的图案和掩模上的一致。

  蚀刻使用化学物质溶解掉暴露出来的晶圆部分,而剩下的光刻胶保护着不应该蚀刻的部分。

  清除光刻胶蚀刻完成后,光刻胶的使命宣告完成,全部清除后就可以看到设计好的电路图案。


第四阶段合影步骤图


  CPU制造:第五阶段图文直播:

  光刻胶再次浇上光刻胶(蓝色部分),然后光刻,并洗掉曝光的部分,剩下的光刻胶还是用来保护不会离子注入的那部分材料。

  离子注入(Ion Implantation)在真空系统中,用经过加速的、要掺杂的原子的离子照射(注入)固体材料,从而在被注入的区域形成特殊的注入层,并改变这些区域的硅的导电性。经过电场加速后,注入的离子流的速度可以超过30万千米每小时。

  清除光刻胶离子注入完成后,光刻胶也被清除,而注入区域(绿色部分)也已掺杂,注入了不同的原子。注意这时候的绿色和之前已经有所不同。


第五阶段合影步骤图


  CPU制造:第六阶段图文直播:

  晶体管就绪至此,晶体管已经基本完成。在绝缘材(品红色)上蚀刻出个孔洞,并填充铜,以便和其它晶体管互连。

  电镀在晶圆上电镀一层硫酸铜,将铜离子沉淀到晶体管上。铜离子会从正极(阳极)走向负极(阴极)。

  铜层电镀完成后,铜离子沉积在晶圆表面,形成一个薄薄的铜层。


第六阶段合影步骤图

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