佳能出问题 将导致面板六代线难产？

    第六代液晶面板生产线（6代线）又遇到了新的难题，曝光作为面板生产中重要的一环，最近又显露出技术上的瓶颈，这甚至直接影响到全球数条6代线的量产，由此将波及大尺寸LCD以及液晶电视的进一步普及……

    最近，Canon曝光机台传出设计不良的问题，虽然Canon尚未对此进行进一步的澄清与说明，但是韩国法人圈已经传出三星（Samsung）七代厂以及乐金飞利浦（LG.Philips LCD）六代厂产能开出时程将因此延后。台湾面板厂包含友达、奇美、华映、广辉的装机时程虽然没有受到影响，但是事实上，因为五代以上面板设备机台设计难度提高不少，因此也为2005年各家六代厂产能开出状况添增了许多变数。

　   据了解，目前除了夏普（Sharp）的六代厂是全数采用尼康（Nikon）的曝光机台外，三星的七代厂、LG.Philips的六代厂、友达的六代厂、奇美的5.5代厂、广辉的六代厂也都有采用一部分Canon的机台，由于各家设备组合并不相同，装机时程也不相同，加上各家厂商工程师在技术能力水准上的差异，因此对于各家面板厂造成的影响程度也不尽相同。不过若机台设备的技术问题没有及时解决，必然或多或少会影响2005年次世代面板厂的产能贡献度。

　   事实上，次世代面板厂由于面板基版尺寸放大，对于量产设备技术造成的挑战是要比想象中还来得多且复杂，Canon的曝光机问题便是其中一例。曝光机台有两种主要的设计，一种为接触式，另一种则为投影式，各有优缺点。接触式的优点是较为精准，但是光罩尺寸无法做得很大，因此，一般是用在实验线或者是小尺寸生产线，而投影式相对而言，比较容易往大尺寸方面发展，因此Nikon和Canon在五代以上都有开发投影式的曝光机台。

　   然而光罩做得再大，最多也只能做到约19英寸左右，因此大尺寸的面板曝光就必需要用拼接的方式，也因此同一片面板每一次曝光的区块之间，接缝是否能处理得宜变成了重要的课题，尤其以大尺寸的液晶电视（LCD TV）面板来说，倘若接缝处重复曝光的情形严重，那么做出来的LCD TV面板品质太差就只得报废了。

　   五代以上的玻璃基板尺寸巨大，因此曝光就必须要采取多次曝光拼接的方式，而在这一个部分，Nikon与Canon所采用的技术便不相同，Nikon是将光罩固定，移动玻璃基板以进行曝光，但是Canon则是以滑轨的方式，让光罩移动进行曝光。而根据面板厂工程师表示，由于在无尘室当中，只要有一个小小的微粒出现在滑轨上，就会影响对位的精准度，造成曝光的偏差，因此在调整上就要花费相当大的功夫。

　   也因此，曝光机台的问题暴露出次世代面板厂量产设备技术上所遭遇到的技术瓶颈，也显示次世代面板厂并不是砸钱下去就会有快速的效益回收。同时，曝光机台的技术难题，也点出了未来大尺寸LCD TV面板在量产良率的提升速度上，可能会比原先预期的要来得慢些。

　   另外，发生技术性问题的曝光机台是产品型号「MPA-8000」系列机种，根据Canon的说法，该机种因使用规格外的零组件，无法发挥该设备的最大效能，可能对产品品质有所影响，因此将进行零组件更换与修护。

　   Canon表示自2004年7月后，该系列机种出货量约30台，目前尚不确定其中有几台出问题。此外，Canon估计所有发生问题机台的零组件更换、维修需3～4个月时间。

　   「MPA-8000」系列曝光机台主要用于生产尺寸大小为1870×2200mm的七代玻璃基板；而同系列机种尚有生产尺寸大小为1,500×1,800mm的六代玻璃基板用机种。Canon表示，为彻底检测产品，2005 年2月前，六、七代曝光机将暂停出货。

    据了解，Canon预估2004年度曝光机销售目标为104台，该公司公关部门表示，机台发生技术性问题事件，将不影响该销售目标，且对于Canon的业绩影响亦不大。