台积电第三座12寸超大晶圆厂破土动工
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台积电Fab 15占地18.4公顷,共包括晶圆厂两栋、办公区一栋共三座建筑,总建筑面积43万平方米,无尘室面积10.4万平方米,大概相当于14座标准足球场大小。其设计中引入了多项节能环保理念,包括85%制程水回收率、雨水回收再利用、一般热排气(General Exhaust)循环再利用等,同时发展太阳能发电与LED照明的应用技术,期望能达到温室效应气体零排放的目标。
继Fab 12和Fab 14后,Fab 15是台积电第三座月产量超过10万片晶圆的12寸晶圆厂,也是第二座具备28nm制程能力的晶圆厂,未来几年内的总投资金额将超过3000亿新台币。
Fab 15的一期厂房预计于2011年6月开始装机,2012年第一季度开始量产,提供40nm和28nm产品。未来台积电还将陆续在该厂导入更先进制程技术。
在Fab 15动工兴建的董事,台积电还在对现有两座12寸晶圆厂进行产能扩充。目前,Fab 12和Fab 14的合计月出货量已超过20万片晶圆,预计到年底还将增加到24万片晶圆。■
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